素基板・焼成基板
アルミナ、窒化アルミニウム、関連セラミック材料。
セラミック基板の選択肢
物性データ
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| 特性 | 条件/単位 | 99.6%アルミナ | 窒化アルミニウム |
|---|---|---|---|
| 色 | — | 白 | 薄灰色 |
| 体積密度 | g/cm³ | ≥3.88 | ≥3.30 |
| 吸水率 | % | 0 | 0 |
| ガス透過性 | — | なし | なし |
| 曲げ強度 | 3点曲げ/MPa | ≥500 | ≥370 |
| 熱伝導率 | 25°C / W/m·K | ≥30 | ≥170、≥200の選択肢を掲載 |
| CTE | 25–300°C / ppm/°C | 7.2 | 4.5 |
| 比誘電率 | @1 MHz | 9.9 | 8.8 |
| 誘電損失 | @1 MHz | ≤1 × 10⁻⁴ | ≤1 × 10⁻⁴ |
| 体積抵抗率 | 25°C / Ω·cm | >1 × 10¹⁴ | >1 × 10¹⁴ |
| 絶縁破壊強度 | kV/mm | ≥15 | ≥15 |
AlNは≥170 W/m·Kと、追加の≥200 W/m·Kタイプを掲載しています。
寸法対応力
表面仕上げ・反り
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| 加工方法 | 表面粗さ Ra | 反り |
|---|---|---|
| 未研磨 | 50~80 nm、100~200 nm、200~300 nmから選択 | ≤0.3% |
| ラップ加工 | 100–300 nm | ≤0.1% |
| 研磨加工 | 99.6%アルミナ:≤25 nm、AlN:≤50 nm | ≤0.1% |
標準厚さ:0.127、0.254、0.381、0.508、0.635、0.762、1.0 mm。
対応可能な案件
アルミナ、窒化アルミニウム、関連セラミック材料。
特注形状、穴加工、寸法加工、表面仕上げ、研磨。
メタライズ・多層セラミック案件を試作から量産まで検討します。
製品選定・技術支援
分かっている条件はどの段階でもご相談いただけます。HTKが製品ごとの詳細を整理し、工場と調整します。
技術確認
HTKが材料・加工方法の候補を整理し、製品ごとの製造能力と品質確認項目を調整します。